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◈ PRODUCT(반도체, LCD 용 VACUUM 배관)

▶ 특징

- 반도체, LCD 장비의 VACUUM 배관 및 GAS LINE 제조

▶ 적용분야

- 진공배관, UTILITY 배관, WATER TACK, BURNER 등 기구제작품
- CABINET DAMPER, GAS NOZZLE PIPE, FACILITY 외 ASS’Y 조립품


반도체, LCD 용 VACUUM 배관

◈ ASS’Y 구성품(PUMP RACK)

▶ 특징

- VACUUM PUMP 및 PARTS에 관련한 모든 항목을 PACKAGE 화 하고 일관되고 정렬된 구조를 가져갈 수 있으며 PUMP교체 시 작업 용이성 구축
   VACUUM 악세사리 및 PARTS 들을 일괄되고 정해진 규격화를 실현함으로서 작업효율성의 극대화 및 UITILITY의 LOSS를 최소화 할 수 있다.


PUMP RACK

◈ 반도체/FPD CHILLER, SCRUBBER Set-up

▶ 특징

- 반도체, DISPLAY, LED 및 태양전지 공정 Main장비 Chamber 주변부 온도를 안정적으로 조절하여 공정효율을 개선하는 장비(CHILLER)와
   반도체, 디스플레이 공정 장비에서 사용된 후 배출되는 유해한 가스들을 정화하는 장비(SCRUBBER)를 Set-up하고 있습니다.

▶ 업무 Scope

- 반도체, DISPLAY, LED 및 태양전지 공정 Main장비 Chamber 주변부 온도를 안정적으로 조절하여 공정효율을 개선하는 장비(CHILLER)와
   반도체, 디스플레이 공정 장비에서 사용된 후 배출되는 유해한 가스들을 정화하는 장비(SCRUBBER)를 HOOK-UP하고 있습니다.


반도체/FPD CHILLER, SCRUBBER Set-up